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SCMFM微氣體質量流量計

型 號

所屬分類微小氣體流量計

報價

發(fā)布時間2024-08-06

產品描述:SCMFM微氣體質量流量計能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應時間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補償。

產品概述

SCMFM微氣體質量流量計技術參數:

2.1  測量介質:各種氣體(乙炔氣和混合氣體除外)
2.2  流量范圍:DN3   30-300ml/min
               DN6   60-600ml/min
               DN8   80-800ml/min
               DN10  100-1000ml/min             
注:
   a)以上流量的測量介質為空氣而言;
   b)以上流量的標準狀態(tài)20℃,101.325kPa。
   c) 每個口徑量程范圍均可擴大
   d)特殊需要可單獨標定
2.3   流量測量準確度:±1.5%FS;±2.5%FS
2.4   工作溫度范圍:0-55℃;
2.5   工作壓力范圍:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa
2.6   供電電源:24VDC±10%;
2.7   輸出信號:4-20mA,RS485通訊;
2.8   環(huán)境溫度:0-55℃;
2.9   顯示位數:瞬時流量為三位,累積流量10位。

SCMFM微氣體質量流量計工作原理:

uf感熱式芯片技術是采用大規(guī)模集成電阻的工作, 保證傳感器的高度*,解決了:“現在傳統的熱式質量流量計無法保證其傳感器的電阻值的*性,導致傳感器在各個法線方向熱傳導速度的差異,所以傳統的熱式質量流量計在傳感器校準和使用過程中產品穩(wěn)定性存在問題,實際應用中的熱式質量流量計價格昂貴,大規(guī)模應用比較難”的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質量流量計,同時可靠性穩(wěn)定,安全性更好。

在芯片上,一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導,使動態(tài)響應時間大大提高。當傳感器工作時,微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差(通常是70℃),在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動,則在氣道中溫度場可用下述公式來計算:

[微小氣體質量流量計]

式中:氣體流動方向為x,速度為v,a為擴散率。
如上圖(式)所示,當氣體流過芯片時,將會帶走熱量,通過質量流量qm和電壓V的對應關系來計算流體的質量流量。

SCMFM微氣體質量流量計概述:

采用關鍵矽微機械加工技術的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS( Microelectromechanical systems)氣體質量流量計和流量控制器,主要應用于輕工、化工、環(huán)保及半導體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
該產品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應時間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補償。

SCMFM微氣體質量流量計機械尺寸

 

L

D

H

G

DN3

74

30

127

G1/8

DN6

74

30

127

G1/4

DN8

90

30

127

G3/8

DN10

130

35

127

G1/2

SCMFM微氣體質量流量計的輸出

PIN1:報警輸出2
PIN2:報警輸出1
PIN4:RS485B
PIN5:RS485A
PIN11:電源負端(0V)
PIN12:電斷正端(24V)
PIN14:LOOP-  
PIN15:LOOP+
PIN3、6~10、13:信號地(報警信號參考地)

8.2 報警連接

8.3 RS485連接:

8.4 4-20mA輸出連接:

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